再制造ASML 二手光刻机再制造
提供ASML全系列二手光刻机的拆机、装机、翻新一站式服务，覆盖光源、镜头、工件台等核心单元的深度再制造与性能升级。
PAS5500 750/850AT850/1250XT 1400-1950NXT 1950-2050
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Products Center
产品中心
从ASML、Nikon全系列二手光刻机再制造，到现货设备、新设备代理与工业CT检测装备，为客户提供高性价比的一站式设备解决方案。
再制造
NikonNikon 二手光刻机再制造
国内少数具备Nikon高端DUV光刻机深度再制造能力的服务商，提供I-line、KrF全系列翻新、改造、升级及整套光刻工艺方案。
I-line i11/SF系列KrF S204-S30712"/8"/6"/4"改造
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现货ASML XT 1400
先进干式ArF光刻机，设备状态非常好，经过我司技术团队全面检测与评估，可快速交付并投入产线。
干式 ArF全面检测评估状态优良
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现货NIKON S307
成熟稳定的型号，现货直发，为客户提供高性价比解决方案，助力产线快速启动与产能爬坡。
成熟稳定机型现货直发高性价比
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现货NIKON S205
关键制程设备，即买即用，大幅压缩交付时效，高效匹配客户产能扩张需求。
关键制程设备即买即用产能爬坡
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代理涂胶显影 / 剥离 / 去胶单片设备
适用于前道工艺、晶圆级封装、MEMS、Micro LED & Mini LED，支持4/6/8/12英寸，模块化设计可定制单元，高产能达80WPH。
80 WPH2Cot/2Dev4-12英寸模块化定制
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代理单片湿法刻蚀设备 SC3200 / SC3100
覆盖RCA清洗、GATE清洗、氧化层清洗与湿法刻蚀，300mm晶圆，12/8腔体配置，全面支持SECS/GEM通讯协议。
300mm12/8腔体4 FOUPSECS/GEM
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代理前道电镀设备 DMAX ECD / ECD系列
应用于90/65/55/40/28nm铜互连双大马士革工艺，以及Pillar、Bump、RDL、TSV等先进封装工艺，最多24个电镀腔体。
300mm4电镀腔体8退火腔体TSV/Bump
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自主研制标准CT Po35T-S / 高能型 Po35T
适用于叠片电芯、新能源材料、电子元器件三维无损探伤，以及航空航天铸件、大密度金属件的高穿透检测。
225kV / 320W300kV / 750W139μm / 100μm
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自主研制在线CT / 线边多功能CT
在线CT实现叠片电芯OH在线全检，2~30 PPM；线边多功能CT兼容卷绕、叠片、4680圆柱与带壳电芯抽检，兼顾OH与极耳焊接检测。
2~30 PPM20~30μmGRR<10%MES上传
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自主研制X-RAY 大面异物检测设备
面向极片翻折、掉落与金属颗粒检测，可检单层极片掉落（100-150μm），AI自动识别低对比度异物，检出0.2×0.2mm金属颗粒。
厚度70mm0.2mm异物AI识别
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